Epurateur cryogénique d’argon liquide ULTRAL LAr

Une solution exclusive Air Liquide pour la purification directe de l’argon liquide jusqu’au ppb

Plaquette Electronique & Optoélectronique
ULTRALTM LAr est un épurateur cryogénique manuel permettant d’épurer l’argon liquide directement à la sortie d’un camion-citerne lors du dépotage ou d’une autre source pour des applications de très haute pureté. 

ULTRALTM LAr est un épurateur spécifiquement destiné à la purification de l’argon liquide en amont d’un stockage liquide. La technologie d’adsorption mise en œuvre permet d’éliminer les impuretés de l’air telles que O2, N2, CH4 etc., jusqu’à des teneurs inférieures au ppb. Le principe de purification repose sur le cryo-piégeage et la chimisorption des impuretés sur un lit d’adsorbant haute performance.

 

Bénéfices clefs

  • Solution économique permettant d’épurer directement l’argon liquide
  • Épurateur manuel simple d’utilisation : un opérateur unique suffit !
  • Lit d’adsorbant régénérable en seulement 9h
  • Filtration des particules >3 µm en sortie d’épurateur

 

Principales caractéristiques techniques

  • Pression d’utilisation : <17,5 barg
  • Débit : jusqu’à 16 000 L/H
  • Dimensions (Lxlxh) = 2 000x1 400x3 000 mm
  • Autonomie : fonction du niveau d’impureté

O2 (ppm)

N2(ppm)

CH4 (ppm)

Capacité (L)
3 2 1 170 000

 

Performance

Impuretés

Entrée (ppb)

Sortie (ppb)

O2

 500

< 1

N2

 200

< 1

CH4

 5

< 1

 

Normes

  • CE - ASME - AQSIQ (Chine) 

 

Références

  • STMICROELECTRONICS
  • MICRON
  • IBM
  • PHILIPS
  • IMEC

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