Epurateurs ultra-purs - Air Water Mechatronics

Afin de répondre à toutes les demandes du marché des gaz ultra-purs et proposer une offre optimisée aux besoins de ses clients de l’électronique, Air Liquide propose en complément de son offre d’épurateurs cryogéniques ULTRAL^TM, toutes les solutions de purification du fabricant Air Water Mechatronics.

En fonction des applications, des impuretés à éliminer ou des débits, le choix des épurateurs peut alors s’orienter vers diverses technologies allant du ppb au sub-ppb : UIP (adsorption), UOP (catalytique + adsorption) , URT (getter) , JLS (membrane Palladium). 

• UIP : série permettant l’élimination à température ambiante des impuretés classiques (H20, CO, CO2, O2, H2) dans les gaz inertes (N2, He, Ar, etc.)
• UOP : série spécifique à la purification de l’oxygène. Similaire aux UIP mais dispose d’un réacteur supplémentaire pour l’élimination des molécules CH4 et CO
• URT, UHG : série utilisant un getter chauffé haute performance permettant l’élimination des impuretés classiques, y compris les plus difficiles comme l’azote et le biogaz dans les gaz inertes (URT) ou l’hydrogène (UHG)
• JLS : série d’épurateurs hydrogène avec membrane Palladium chauffée

Bénéfices clés

• Epurateur automatique simple d’utilisation avec écran de contrôle tactile
• Modèles UIP : 2 ou 3 colonnes de purification fonctionnant en parallèle afin d’assurer une purification continue et automatique 24H/24H. Régénération automatique
• Modèles URT, UHG : Durée de vie étendue des cartouches par rapport aux getters traditionnels : 20.000H dans les conditions standards !
• L’alliance d’un des leaders mondiaux dans la purification des gaz ultra-purs à l’un des leaders mondiaux des gaz

Normes

• CE - ASME - AQSIQ (Chine) - HPGSL (Japon)

Références

• STMICROELECTRONIC
• GLOBALFOUNDRIES 
• ATMEL
• IMEC