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Candi - Precursor distribution system

Candi

Système de distribution pour les précurseurs liquides, utilisés dans le cadre des procédés de dépôt.

Le système Candi est conçu pour offrir un approvisionnement continu de précurseurs liquides à basse pression de vapeur (>1 Torr), fournis à pression constante.

Applications

Applications types : approvisionnement en précurseurs liquides via un dispositif d’injection liquide directe (DLI) , bulleur ou évaporateur.
Exemples de précurseurs possibles :

  • Procédés BPSG : TEOS, TEPO, TEB…
  • Diélectrique low-k : 4MS, TMCTS, OMCTS, DMPS, BCHD…
  • Diélectrique high-k : DMAI, TDMAS, 4DMAS…
  • SiN/SiO : HCDS, SAM.24TM, BTBAS…

Fonctionnement

L’hélium pressurisé est utilisé pour transférer un précurseur du fût source à une capacité tampon, puis de ce dernier à l’outil mobilisé. Grâce au fût tampon, il est possible d’assurer une distribution continue des produits chimiques pendant le remplacement du fût source.

Le dispositif de purge breveté Candi, qui s’appuie sur la compression des gaz et les phases d’expansion, garantit une sécurité constante pendant le remplacement de la source et empêche la contamination des précurseurs délivrés, ces molécules étant souvent très sensibles à l’air et l’humidité.

Grâce à d’autres éléments brevetés, tels que le mode de distribution de secours, le contrôle du niveau du réservoir journalier et la détection d’un fût source vide pour une utilisation optimale, la distribution des précurseurs est fiable et économique.

Qualification

Le Candi est approuvé par la majorité des équipementiers pour les procédés 300 mm :

  • Référencement sur diverses plateformes d’équipementiers,
  • Interface pré-paramétrée pour divers équipementier.
Candi - Precursor distribution system
Candi - Système de distribution pour les précurseurs liquides

Caractéristiques

  • Précision du contrôle de la pression lors de la distribution (± 50 mbar) pour les applications les plus contraignantes
  • Adaptabilité du système à tous les fûts sources conformes avec la norme SEMI, jusqu’à 40 L
  • Réservoir journalier de 8 L
  • Mode de secours breveté pour une fiabilité accrue
  • Smart Empty Control pour une utilisation optimale des produits chimiques
  • Séquence de purge des produits chimiques validée à l’issue de tests en conditions réelles
  • Technologie PLC et écran tactile couleur de 10’’
  • Port Ethernet pour le suivi avec le système SCADA
  • Interface de Ethernet communication port for SCADA monitoring
  • Interface de signal personnalisée

 

Options

  • Pompe à vide embarquée
  • Dispositif de dégazage embarqué
  • Chauffage des lyres
  • Jusqu’à 4 connexions en sortie
  • Valves Manifold Box (VMB) pour la distribution sur plusieurs points d’utilisation
  • Différents protocoles de communication disponibles
  • Formation pour le démarrage et le fonctionnement

Fonctionnement :

  • MTBF* : 8,760 heures
  • Disponibilité : 99,98 %

*Durée de vie moyenne

Eléments de sécurité

  • Distribution entièrement automatisée et séquences de remplacement de la source
  • Bouton d’arrêt d’urgence de la machine facile d’accès
  • Alarme standard pour le débit d’échappement
  • En option : alarmes de détection de fuite de gaz et d’incendie
  • Détection des fuites
  • Détection de toute ouverture de porte
  • Pressostat individuel et soupape de décharge sur les lignes d’azote (N2) et d’hélium (He) pressurisées
  • Minuteur pour la pressurisation/dépressurisation de chaque réservoir et pour le remplissage des réservoirs journaliers
  • Précision des messages d’alarme
  • Intervention des opérateurs tenue au minimum
  • Protection par mot de passe à plusieurs niveaux afin de restreindre l’accès aux fonctionnalités critiques

Certifications

  • CE Mark
  • SEMI S2
  • Zone Atex 2 pour la compartimentation des procédés